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高速3D激光共聚焦显微镜
NS3500三维激光共聚焦显微镜
NS-3500是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有优质的解决方案。 
Features & Benefits（性能及优势）：
-
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
-
实时共焦成像 简单的数据分析模式
-
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
-
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
-
自动聚焦
Software (软件）：
Application field（应用领域）：
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
Specification (规格）：
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Model |
Microscope NS-3500 |
备注 |
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|
Controller NS-3500E |
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|
物镜倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
150x |
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观察/ 测量范围 |
水平 (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
|
垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
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|
工作范围: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
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|
数值孔径(N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
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|
光学变焦 |
x1 to x6 |
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|
总放大倍率 |
178x to 26700x |
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|
观察/测量光学系统 |
针孔共聚焦光学系统 |
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高度测量 |
测量扫描范围 |
精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S] |
注 1 |
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|
长扫描 : 10mm [NS-3500-T] |
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显示分辨率 |
0.001 μm |
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|
重复率 σ |
0.010 μm |
注 2 |
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|
宽度测量 |
显示分辨率 |
0.001 μm |
|||||
|
重复率 3σ |
0.02 μm |
注 3 |
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|
帧记忆 |
像素 |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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|
单色图像 |
12 bit |
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|
彩色图像 |
8-bit for RGB each |
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|
高度测量 |
16 bit |
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帧速率 |
表面扫描 |
20 Hz to 160 Hz |
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|
线扫描 |
~8 kHz |
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自动功能 |
自动增益 |
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激光共焦测量光源 |
波长 |
405nm |
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|
输出 |
~2mW |
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激光等级 |
Class 3b |
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激光接收元件 |
PMT (光电倍增管) |
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光学观察光源 |
灯 |
10W LED |
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光学观察照相机 |
成像元件 |
1/2” 彩色图像 CCD 传感器 |
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|
记录分辨率 |
640x480 |
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自动调整 |
增益, 快门速度, White balance |
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数据处理单元 |
PC |
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电源 |
电压 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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|
电流 |
500 VA max. |
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重量 |
显微镜 |
Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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|
控制器 |
~8 kg |
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隔振系统 |
电子隔振器 |
Option |
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精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S（单镜头类型）。
注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。
注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。
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